Met de snelle ontwikkeling van de elektronische technologie worden micro-nano-productieprocessen steeds vaker toegepast in de microfabricagetechnologie. Tijdens de verwerking, wanneer plasma met hoge-dichtheid en hoge- energie aluminiumlegeringen, kwarts, keramiek en andere componenten bombardeert en erodeert, wordt deeltjesverontreiniging gegenereerd. Deze verontreinigende deeltjes kunnen de productkwaliteit en opbrengst aanzienlijk beïnvloeden, waardoor de levensduur van componenten van productieapparatuur wordt verkort. Tegelijkertijd kunnen niet-vluchtige fluoriden die tijdens microfabricage worden gegenereerd, zich afzetten op het oppervlak van elektronische componenten, waardoor defecten ontstaan of deze zelfs onbruikbaar worden. Daarom is plasmaweerstand cruciaal voor componenten in elektronische productieapparatuur. Momenteel wordt yttriumoxide veel gebruikt in keramische oppervlaktecoatings vanwege de uitstekende fysische en chemische eigenschappen om de kans op verontreiniging van elektronische componenten te verkleinen.
Voordelen van het aanbrengen van een yttriumoxide coating:
(1) De verwijdering van aluminiumfluoride na het aanbrengen van een yttriumoxidecoating vermindert de verontreinigende deeltjes op het productoppervlak;
(2) Het lage gehalte aan overgangsmetalen in yttriumoxide vermindert het risico op verontreiniging van interne componenten door metalen zoals K, Na, Fe, Cu en Ni;
(3) Yttriumoxide heeft superieure diëlektrische eigenschappen, en hoe dikker de coating, hoe sterker de weerstand tegen diëlektrische doorslag;
(4) Als plasma{1}}resistent componentmateriaal vertoont yttriumoxide een lage corrosiesnelheid in plasma;
(5) De yttriumoxidecoating beschikt over uitstekende hittebestendigheid, slijtvastheid en isolatie-eigenschappen, waardoor de toepasbaarheid van keramische producten op het gebied van de elektronische techniek wordt vergroot.